1、一种节省多晶硅光刻版的沟槽IGBT版图

　　2、一种将光刻板与硅片贴合的方法及光刻机

　　3、一种光刻板

　　4、一种光刻板

　　5、光刻板及掩模修正方法

　　6、一种改善光刻缺陷以及延长光刻版使用期限的方法

　　7、一种新型光刻版

　　8、一种渐变光刻版图及其半导体表面制造方法

　　9、基于图形补偿的光刻版及其制作方法

　　10、一种GPP生产的光刻版工艺

　　11、阱层光刻版图、其形成方法及其光学临近校正处理方法

　　12、一种具有不同透光率的光刻版

　　13、一种光刻板用的固定夹具

　　14、清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

　　15、一种光刻板、芯片模组及光刻板的制备方法

　　16、一种电子光刻版

　　17、一种光刻版夹具

　　18、具有保护环的光刻板

　　19、功率半导体芯片，该芯片的光刻版及其曝光方法

　　20、一种功率半导体芯片，该芯片的光刻版及其曝光方法

　　21、一种光刻版以及光刻方法

　　22、一种芯片光刻机的光刻版取料装置

　　23、光刻版的形成方法

　　24、一种在晶圆光刻工艺中与接触式光刻机配合使用的光刻板

　　25、一种在晶圆光刻工艺中与接触式光刻机配合使用的光刻板及其应用方法

　　26、一种用于光刻版图OPC的采样方法及装置

　　27、光刻版结构及LED芯片分选入Bin的方法

　　28、光刻版、互连线图形的光刻方法及互连线的制备方法

　　29、用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置

　　30、一种晶圆金属镀层结构及其相应的光刻板和晶圆夹具

　　31、无铬光刻板

　　32、一种光刻版及应用光刻版制作发光二极管的方法

　　33、光刻版及晶圆或晶圆承载台沾污的检测方法

　　34、光刻版自动翻转装置

　　35、一种光刻版图OPC方法

　　36、用于制作高频晶体管的光刻版和高频晶体管

　　37、一种移动式组合对准标记的光刻版

　　38、光刻版设计方法及光刻工艺中不同光刻机的匹配方法

　　39、一种用于曝光的新型光刻板夹具

　　40、判断光刻版套刻精度一致性的方法和光刻机

　　41、一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图

　　42、集成式光刻板制作方法及其制得LED芯片晶粒的分选方法

　　43、一种针对光刻版图接触孔热点的检查方法

　　44、一种光刻版组件及检测光刻对准精度的方法

　　45、平板式光刻板

　　46、同心圆光刻板

　　47、一种智能光刻版

　　48、光刻版以及该光刻版的曝光方法

　　49、一种智能光刻版及其实现方法

　　50、一种光刻版

　　51、一种光刻版结构

　　52、利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法

　　53、一种光刻版结构及其制造方法

　　54、一种手动光刻版清洗装置

　　55、光刻版图、光刻胶图形及测量光刻胶图形曝光误差的方法

　　56、平板式光刻板

　　57、增强型全局对准标记和光刻版图

　　58、无铬光刻板

　　59、光刻版图形位置偏差检查方法

　　60、光刻版以及光刻版的曝光方法

　　61、光刻版图的形成方法

　　62、无铬光刻板

　　63、光刻版及其套刻方法

　　64、宽栅格双极静电感应晶体管的光刻版

　　65、一种光刻版

　　66、用可变形束光刻的光学邻近校正、设计和制造光刻板方法

　　67、一种光刻版

　　68、一种光刻版及其实现方法

　　69、一种改进的阴极光刻版

　　70、新型阴极光刻版

　　71、光刻版清洗架

　　72、光刻版图及其测量光刻形变的方法

　　73、一种应用于LED芯片制作的光刻版

　　74、光刻版夹具

　　75、光刻检测图形及光刻版版图

　　76、形成和修正具有间隙缺陷的光刻版的方法

　　………………………………