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单晶硅制备生产专利技术汇编

2024/5/4

  01、一种单晶硅生长炉的石墨坩埚

  002、一种单晶硅太阳能电池表面制绒处理方法

  003、一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈

  004、单晶硅原材料运输车

  005、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法

  006、一种单晶硅棒

  007、一种单晶硅炉

  008、单晶硅生长设备和生长单晶硅的方法

  009、一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂

  010、一种直拉单晶硅的掺杂装置及使用方法

  011、一种连续加料的单晶硅生长工艺

  012、一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法

  013、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  014、一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件

  015、一种用于单晶硅生长炉的氩气分流装置

  016、一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法

  017、一种单晶硅收尾方法及单晶硅制备方法

  018、一种单晶硅棒粘接机

  019、一种用于拉制区熔硅单晶硅棒的高频线圈

  020、用于单晶硅制备的钼导流筒

  021、一种用于单晶硅或多晶硅酸性制绒的辅助化学组合物及其应用

  022、单晶硅晶锭和晶片以及用于生长所述晶锭的装置和方法

  023、一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法

  024、一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法

  025、一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构

  026、单晶硅及其制造方法

  027、一种单晶硅生长炉用支撑电极

  028、制造单晶硅

  029、直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置

  030、多晶硅的晶体取向度评价方法、多晶硅棒的选择方法及单晶硅的制造方法

  031、一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件

  032、一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构

  033、一种用于单晶硅生长炉的氩气分流装置

  034、一种新型单晶硅生长炉保温筒

  035、一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法

  036、一种单晶硅衬底锗外延薄膜的制备方法

  037、一种籽晶的铺设方法、准单晶硅片的制备方法及准单晶硅片

  038、氧化硅玻璃坩埚的评价方法、单晶硅的制造方法

  039、一种籽晶的铺设方法、准单晶硅片及其制备方法

  040、单晶硅样棒熔区线画线装置

  041、硼镓共掺单晶硅片及其制备方法和太阳能电池

  042、一种用于单晶硅表面织构化的制绒液及其制备方法

  043、氧化硅玻璃坩埚的三维形状测量方法、单晶硅的制造方法

  044、氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法

  045、一种单晶硅片制绒的清洗方法及单晶制绒设备

  046、一种升降式单晶硅炉

  047、一种单晶硅太阳能电池片的无醇制绒工艺

  048、制造单晶硅的方法

  049、制造单晶硅的方法

  050、一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈

  051、一种单晶硅片的退火制绒方法

  052、一种单晶硅片单面制绒的方法

  053、一种准单晶硅锭生长方法

  054、一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法

  055、单晶硅热场

  056、全单晶硅铸锭炉

  057、单晶硅蚀刻方法及所获得的半导体结构

  058、一种单晶硅倒金字塔阵列结构绒面及其制备方法和应用

  059、一种类单晶硅铸锭用籽晶的粘连拼接方法及铸锭用坩埚

  060、类单晶硅锭制备方法及切割制备类单晶硅片方法

  061、一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法

  062、一种能够降低单晶硅晶棒头部氧含量的单晶炉

  063、一种准单晶硅片绒面的制备方法

  064、提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法

  065、制备直径为400mm以上的单晶硅的方法

  066、一种提升单晶硅生长速度的导流筒

  067、一种单晶硅棒的粘胶台装置

  068、一种拉制直径80mm高电阻率区熔单晶硅的工艺方法

  069、一种直拉法生长低电阻率单晶硅用掺杂装置及掺杂方法

  070、一种定向凝固法准单晶硅生长炉

  071、一种减压生产12寸单晶硅外延片的工艺

  072、一种弱氧化单晶硅片的制绒方法

  073、一种单晶硅炉用筒状加热器

  074、一种直拉单晶硅的掺杂装置

  075、一种单晶硅硅片清洗制绒工艺

  076、单晶硅棒生长检测装置

  077、准单晶硅铸锭炉的保温结构

  078、一种利用单晶硅籽晶诱导生长铸造单晶硅的方法及产品

  079、全单晶硅铸锭炉

  080、提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备

  081、一种制备超长一维单晶硅纳米/微米结构的方法

  082、一种单晶硅生长热屏装置

  083、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  084、单晶硅棒直拉方法及其制备的单晶硅棒

  085、单晶硅直拉法热屏调整工艺

  086、一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨坩埚

  087、一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚

  088、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  089、一种单晶硅酸腐蚀片的加工方法

  090、基于化学刻蚀的单晶硅表面结构及其制备及应用

  091、一种单晶硅拉晶炉的熔融硅液面检测方法及测量装置

  092、一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器

  093、一种定向凝固法准单晶硅生长炉及准单晶硅的生长方法

  094、直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置

  095、用于单晶硅片的无醇碱性制绒液、制绒方法、太阳能电池片及其制作方法

  096、一种生产单晶硅的方法

  097、单晶硅片的抛光方法、太阳能电池片及其制作方法

  098、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  099、单晶硅位错腐蚀剂及检测方法

  100、用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶硅锭的铸锭方法

  101、单晶硅半导体晶片及其制造方法

  102、一种单晶硅式制绒工艺

  103、一种单晶硅直拉热场可视热屏装置

  104、多晶硅棒的选择方法及单晶硅的制造方法

  105、直拉单晶硅中避免铜沉淀形成于洁净区的热处理方法

  106、一种铸造单晶硅锭的方法与装置

  107、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  108、单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法

  109、石英玻璃坩埚及其制造方法、以及单晶硅的制造方法

  110、单晶硅片制绒添加剂及其使用方法

  111、制单晶硅棒时引晶用的籽晶和单晶硅棒的制作方法

  112、一种单晶硅棒运输托架

  113、单晶硅晶片

  114、一种多晶料在区熔单晶硅中的一次成晶工艺制备方法

  115、N型单晶硅的制造方法及掺磷N型单晶硅

  116、一种化学氧化法制作异质结单晶硅薄膜太阳能电池

  117、单晶硅片表面的处理方法

  118、单晶硅生长用坩埚及其制造方法以及单晶硅的制造方法

  119、一种用于制作准单晶硅的装置及一种准单晶硅的制作方法

  120、一种单晶硅性制绒液的无醇添加剂及其应用

  121、一种异形尺寸的直拉单晶硅及其生长方法

  122、一种电流场均匀的长寿命单晶硅加热器

  123、单晶硅晶片的制造方法及退火晶片

  124、一种籽晶铺设方法、铸造准单晶硅锭的方法及准单晶硅片

  125、一种变埚比的单晶硅生长方法

  126、用于单晶硅制绒过程中不补加且无醇的第四代添加剂

  127、直径转变的直拉单晶硅生长方法

  128、单晶硅自动粘接方法

  129、单晶硅状态检测装置

  130、快速节能单晶硅拉制停炉工艺

  131、镓、铟、或铝掺杂单晶硅

  132、电解精炼-液态阴极原位定向凝固制备高纯单晶硅的方法

  133、单晶硅棒截断专用运送辅助小车

  134、准单晶硅的制备炉

  135、一种用于直拉单晶硅的石墨坩埚

  136、一种直拉单晶硅用复合式导流筒

  137、太阳能单晶硅片制绒液及其应用方法

  138、一种制备准单晶硅的铸锭炉及制备准单晶硅的方法

  139、用于单晶硅连续生长的系统

  140、提高铸造单晶硅铸锭成品率和转换效率的方法

  517、用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法

  518、平板单晶硅表面的改性方法

  519、硅片和生产单晶硅的方法

  520、直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法

  521、用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法

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