1 CN2016103184491 一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法2 CN2016102054823 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机3 CN2016101785997 适于接触式光刻机的分区域曝光装置4 CN2016100789026 一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置5 CN2016100775076 光刻机掩模的优化方法6 CN2016100831019 一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法7 CN2016100641103 检测光刻机上晶圆边缘图形失像的方法8 CN2016100058497 一种适用于投影光刻机的实时调平系统及其调平方法9 CN2015109969443 一种激光光刻机控制系统及其光刻机10 CN2015109724963 激光刻膜机11 CN2015109724959 工业用激光刻膜机 12 CN2015109622692 用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构13 CN2015107771705 光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法14 CN2015107574270 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法15 CN201510719205X 一种检测光刻机焦距偏移量的方法16 CN2015106648347 一种用单面光刻曝光机上晶圆正反面光刻图案的对位方法17 CN2015106421780 一种直写式光刻机缩影物镜的倍率标定方法18 CN2015106348963 一种用于直写式光刻机曝光光源的温度控制系统19 CN2015106450321 一种直写式光刻机图形发生器的角度标定方法20 CN2015106346309 一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构21 CN2015106626808 倾斜扫描式光刻机在步进式曝光时的二维拼接处理方法22 CN2015106627162 一种用于直写式光刻机图形发生器的凹四边形FPGA硬件填充方法23 CN2015106233917 具有瞳面质量监测和校准功能的光刻机照明系统和方法24 CN2015106013264 基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机25 CN2015105917399 一种光刻机工件台探测器*佳高度确定方法26 CN2015105664431 一种激光直写式光刻机温度控制方法27 CN2015105524493 一种用于浸没式光刻机的浸没液体控制装置28 CN2015105400679 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法29 CN2015104890280 一种避免光刻机镜头过热的方法30 CN2015104748054 基于CompactParticleSwarmOptimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法31 CN2015104748016 基于CompactDifferentialEvolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法32 CN2015104791590 一种用于浸没式光刻机的气密封及水平和垂直注液回收装置33 CN2015104652441 光刻机工件台的一体式平衡质量装置34 CN2015104288243 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置35 CN2015104235848 一种用于浸没式光刻机的垂直回收和气密封装置36 CN2015103820030 一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜37 CN2015103538720 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法38 CN2015103539193 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法39 CN2015103538716 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法40 CN2015103260791 晶圆级光刻机键合方法41 CN2015103166427 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的新方法42 CN2015103166840 用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板43 CN2015101990446 一种监控光刻机台稳定性的方法及系统44 CN2015101741496 深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置45 CN2015101669987 一种大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法46 CN2015101558359 光刻机照明光瞳偏振态测量用光学系统47 CN2015100972506 一种用于光刻机的光源掩模优化方法48 CN2015100681500 一种光刻机的接近式间隙曝光工件台49 CN2015100201861 一种用于浸没式光刻机的气液隔离装置50 CN2015100019267 一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头51 CN2014108539072 一种光刻机楔板斜面的加工方法及其夹具工装52 CN2014108584078 用于纳米光刻的有机底部抗反射涂料组合物53 CN2014107586038 一种浸没光刻机浸没单元防碰撞装置及方法54 CN201410755863X 一种光刻机的控制方法及装置55 CN2014107454151 一种光刻机电气伺服对位控制系统及控制方法56 CN2014107429516 光刻机投影物镜及其镜片支架的通孔设计方法57 CN2014106749818 光刻版设计方法及光刻工艺中不同光刻机的匹配方法58 CN2014106326688 一种测量光刻机掩模台倾斜度和垂向度的装置及方法59 CN2014106144143 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜60 CN2014106004241 一种全自动光刻板清洗机61 CN2014105431140 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜62 CN2014105281374 用于光刻机的能量探测装置63 CN2014105068316 一种激光直写式光刻机的聚焦系统及控制方法64 CN2014104779626 一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜65 CN2014104702874 一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法66 CN2014104626584 光刻机套片对准的方法67 CN2014104280001 一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置68 CN2014104225023 一种光刻机光源的优化方法69 CN2014104125241 主基板及其制造方法和光刻机70 CN2014104000937 双工件台扫描光刻机的Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法71 CN2014104000922 基于Vxworks操作系统的双工件台光刻机控制系统通信装置72 CN2014103937891 用于浸没式光刻浸没头机位姿调节机构的控制方法73 CN2014103853114 光刻胶供给装置及涂布机74 CN2014103673713 提高光刻机可用焦深的方法75 CN2014103617643 浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法76 CN2014103567767 一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法77 CN2014103476575 光刻区机台切换光罩的方法、装置及机台78 CN2014103397408 用于光刻机的汞灯分光装置及其操作方法79 CN2014800427664 用于给立体光刻机供料的改进的盒、包括所述盒的立体光刻机及采用所述立体光刻机的立体光刻方法80 CN2014103160074 一种接触式光刻机吸盘81 CN2014103081674 直线电机系统及其控制方法、应用该直线电机系统的光刻机82 CN2014102954851 一种步进式光刻机对位监控方法83 CN2014102854251 一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置84 CN2014102610793 光刻机对准性能的检测方法85 CN2014102461638 用于浸没式光刻机中的负压环境下的连续气液分离装置86 CN2014102390543 用于光刻机的晶圆卡盘清洁系统及清洁方法87 CN2014101995680 控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法88 CN2014101932291 一种螺纹刀具激光刻字机89 CN2014101728158 用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置90 CN2014101604511 光刻机光源与掩模的联合优化方法91 CN2014101605745 光刻机照明光源的描述方法92 CN2014101370595 一种光刻机垂向控制参数校准方法93 CN2014101356850 一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法94 CN2014101270332 浸润式光刻机浸润部件的自动清洗装置和清洗方法95 CN2014101101349 浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法96 CN2014101036369 光刻机曝光参数的获取方法97 CN2014100970756 镭射母版及制造该镭射母版的光刻机98 CN2014100881856 光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法99 CN2014100764886 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜100 CN2014100765272 一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜101 CN201410075046X 光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法102 CN2014100737588 投影光刻机的离轴对准装置及对准调节方法103 CN2014100702381 一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法316 CN2011100250588 光刻机进行工程光刻露光时的对准方法317 CN2011100243029 用于浸没式光刻机的磁流体注入和回收控制装置318 CN2011800095970 光刻设备、器件制造方法和相关的数据处理设备以及计算机程序产品319 CN2011100015446 接近接触式光刻机对准工作台找平机构320 CN2010106187511 用于光刻机中的掩模版固定装置及掩模版固定方法321 CN2010106137565 一种投影光刻机的硅片台微旋转机构322 CN2010106135983 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置323 CN2010106183737 径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台
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