单晶炉结设计制备专利工艺技术
产品描述

1、一种用于单晶炉的两区加热器
2、一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置
3、一种单晶炉二次加料系统及加料方法
4、泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法、温控方法和控制方法
5、一种可-抑-制波动的直拉硅单晶炉液位检测方法
6、一种用于单晶炉的出料系统
7、一种多次给直拉单晶炉加料的装置
8、一种新型单晶炉导流筒
9、一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏
10、改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构
11、含辅zhu加料结构的单晶炉及其应用
12、一种低能耗单晶炉
13、一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置
14、单晶炉真空系统用自动清洁过滤器
15、一种提高HVPE法生长氮化物均匀性的单晶炉腔体
16、一种单晶炉复投料装置
17、一种带有自动出料功能的单晶炉炉体
18、一种用于单晶炉的导流筒
19、一种用于单晶炉的粉碎进料装置
20、生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构
21、一种蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统及控制方法
22、一种PVT法制备单晶用可控制载气流场的单晶炉
23、一种单晶炉引晶埚位的确定方法
24、一种PVT法碳化硅单晶炉保温系统的快速纯化方法
25、提拉单晶炉晶体恒组分生长控制系统和方法
26、一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法
27、一种单晶炉用炭素材料组合坩埚
28、一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排qi管道
29、一种方形蓝宝石单晶炉热场结构
30、一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器
31、单晶炉热场
32、区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置
33、具有退火装置的单晶炉及其控制方法
34、一种新型单晶炉顶部安全阀
35、单晶炉夹取装置
36、一种单晶炉炉盖
37、一种单晶炉碳/碳复合材料隔热屏及其制备方法
38、单晶炉的加热装置
39、一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置
40、单晶炉翻板箱冷却结构
41、一种改进型单晶炉热屏导流筒
42、单晶炉放气阀
43、单晶炉真空管道清洁器
44、一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法
45、一种单晶炉用石墨坩埚
46、一种用于直拉式单晶炉的石墨坩埚
47、一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构
48、单晶炉
49、单晶炉水冷套温度控制系统
50、一种蓝宝石单晶炉和蓝宝石引晶方法
51、单晶炉的上炉体
52、一种单晶炉的上炉体
53、单晶炉的晶硅承重机构
54、用于单晶炉的坩埚轴
55、单晶炉加料机构
56、单晶炉的热场
57、单晶炉的导流筒
58、磷化铟单晶炉磷泡升降装置
59、磷化铟单晶炉热偶升降装置
60、一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置
61、应用于单晶炉的晶体称重装置
62、一种单晶炉埚杆的修复fang法
63、蓝宝石单晶炉
64、一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置
65、一种单晶炉在线掺杂装置
66、一种单晶炉管道
67、单晶炉炉压检测报警补偿系统
68、单晶炉冷却系统
69、一种用于单晶炉的停炉冷却方法
70、用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器
71、用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器
72、蓝宝石单晶炉砌装式隔热保温屏及其专用炉壁砖组件
73、用于蓝宝石单晶炉的组合式下隔热保温屏
74、一种蓝宝石单晶炉保温结构
75、用于单晶炉的石英销
76、一种测量单晶炉熔硅液面高度的装置与方法
77、一种单晶炉的停炉冷却系统及工艺
78、单晶炉的磁屏蔽体结构
79、一种拼接型直拉单晶炉固化保温桶
80、一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构
81、一种提高直拉法单晶生长速度的单晶炉
82、单晶炉导流筒的吊装装置
83、蓝宝石单晶炉的水冷电极
84、一种用于蓝宝石单晶炉上隔热屏观察孔的嵌套
85、一种单晶炉隔热屏及其制备方法
86、单晶炉的加料方法
87、用于单晶炉的外部装料机构
88、蓝宝石单晶炉用焊接式钨发热笼及其焊接方法
89、一种便于取放的单晶炉导流筒
90、单晶炉双加热器组合电极结构
91、直拉单晶炉磁场装置及使用该磁场装置的拉晶方法
92、单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶
93、单晶炉热屏提取装置
94、单晶炉中轴盖
95、新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场
96、一种新型单晶炉导流筒
97、一种单晶炉中氧含量的控制方法
98、一种生长方形蓝宝石的单晶炉热场结构
99、一种承重的单晶炉导流筒
100、一种单晶炉
101、一种单晶炉的加料方法
384、一种单晶炉
385、磷化铟单晶炉磷泡升降装置
386、磷化铟单晶炉热偶升降装置
387、一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置
388、开门式单晶炉锁门结构
389、单晶炉快速清理及防爆真空管路系统
390、一种通风散热式可膨胀单晶炉热场
391、蓝宝石单晶炉结构
392、蓝宝石单晶炉旋转机构
393、蓝宝石单晶炉伸缩籽晶杆
394、一种单晶炉的停炉冷却装置
395、一种单晶炉二次增料装置
396、一种单晶炉循环水换热系统
397、用于蓝宝石单晶炉的组合式下隔热保温屏
单晶炉结设计制备专利工艺技术
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