1、低密度抛光垫

　　2、聚氨酯抛光垫

　　3、耐候性化学机械抛光垫

　　4、抛光垫的制造方法

　　5、抛光垫

　　6、抛光垫

　　7、抛光垫的制造方法

　　8、抛光垫及其制造方法

　　9、聚氨酯抛光垫

　　10、聚氨酯抛光垫的制备方法

　　11、抛光垫

　　12、聚氨酯材料抛光垫及其制备方法

　　13、一种抛光垫及其制备方法

　　14、具有多模态孔径分布的抛光垫

　　15、用于抛光半导体基材的软性抛光垫

　　16、高效、无划伤、长寿命橡胶高分子材料抛光垫

　　17、具有局部区域透明部的化学机械抛光垫

　　18、抛光垫的制造方法

　　19、一种聚氨酯抛光垫的生产工艺

　　20、具有光稳性聚合物终点检测窗的化学机械抛光垫及相应的抛光方法

　　21、抛光垫、其聚氨酯层及抛光硅晶片的方法

　　22、具有复合排屑结构的研磨抛光垫

　　23、制造抛光垫的方法和抛光垫

　　24、抗蠕变抛光垫窗

　　25、抛光垫

　　26、抛光垫片组合物与制造和使用方法

　　27、双孔结构抛光垫

　　28、聚氨酯发泡体和抛光垫

　　29、一种仿生表面结构抛光垫及制造方法

　　30、抛光垫的制造方法

　　31、抛光垫的制造方法

　　32、多功能抛光垫

　　33、基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫及制造方法

　　34、化学机械抛光垫

　　35、抛光垫

　　36、抛光垫的制造方法

　　37、抛光垫

　　38、抛光垫

　　39、抛光垫

　　40、抛光垫的制造方法

　　41、包含具有聚氨酯基体的互渗液化烯类单体网状物的抛光垫

　　42、抛光垫、其生产方法及使用其生产半导体器件的方法

　　43、抛光垫以及垫磨除速率和平坦化的改进方法

　　44、聚氨酯抛光垫

　　45、抛光垫

　　46、具有微孔的聚氨酯泡沫的制备方法和由此获得的抛光垫

　　47、抛光垫

　　48、抛光垫及抛光半导体晶片的方法

　　49、包含粒状聚合物和交联聚合物粘结剂的抛光垫

　　50、抛光垫

　　51、一种抛光垫

　　52、一种表面带沟槽的聚氨酯抛光垫

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