1、一种WTi合金溅射靶材的制备方法

　　2、一种钽铝合金溅射靶材的制备方法

　　3、一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法

　　4、一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法

　　5、铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法

　　6、一种钽硅合金溅射靶材的制备方法

　　7、一种铬硅溅射靶材的制备方法

　　8、溅射靶材及其制造方法

　　9、高纯稀土金属钪及钪溅射靶材的制备方法

　　10、一种平面溅射靶材

　　11、一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法

　　12、一种钼钨溅射靶材及其制备方法

　　13、一种掺杂亚微米金刚石碳化钨溅射靶材及其制备方法

　　14、一种镍铬合金溅射靶材及其制备方法

　　15、一种二元钼合金溅射靶材及其制备方法

　　16、一种提高磁控溅射靶材利用率的装置

　　17、溅射靶材

　　18、一种原位补偿硒硫的磁控溅射靶材

　　19、一种铬铝合金溅射靶材及其制备方法

　　20、溅射靶材、银反射膜

　　21、超高纯铝溅射靶材自动定位设备

　　22、一种磁控溅射靶材与基底中心对正装置

　　23、第二代高温超导带材金属溅射靶材保护装置

　　24、溅射靶材

　　25、一种溅射靶材熔融液体搅拌装置

　　26、一种溅射靶材基板加工装置

　　27、一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法

　　28、一种铝钪合金溅射靶材的制备方法

　　29、一种平面溅射靶材快速冷却装置

　　30、一种溅射靶材的去内应力校正方法

　　31、氧透过元件和溅射靶材料

　　32、一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法

　　33、一种溅射靶材交变箱

　　34、一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法

　　35、一种溅射靶材加热平台

　　36、溅射靶材用铜铬镍硅合金背板的制作方法

　　37、一种晶粒高定向取向的镍铂合金溅射靶材及其制备方法

　　38、一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

　　39、一种晶粒高定向取向的钌溅射靶材及其制备方法

　　40、一种晶粒高定向取向的铂溅射靶材及其制备方法

　　41、一种钼钨合金溅射靶材的制备方法

　　42、一种晶粒高定向取向的铱溅射靶材及其制备方法

　　43、一种碳和碳化硅陶瓷溅射靶材及其制备方法

　　44、一种合金溅射靶材及其制备方法和用途

　　45、AgPdCu合金及其制备方法、AgPdCu合金溅射靶材及其制备方法

　　46、一种溅射靶材表面金属化方法

　　47、高温超导带材金属溅射靶材保护装置及基片薄膜制作方法

　　48、一种磁控溅射靶材组件及其制备方法

　　49、大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具

　　50、一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置

　　51、一种铬硅合金溅射靶材及其制备方法

　　52、蒙脱土在磁控溅射靶材中的应用、得到的蒙脱土薄膜及应用

　　53、一种镍钒溅射靶材的制备方法

　　54、一种旋转溅射靶材及其制备方法

　　55、一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法

　　56、一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统

　　57、一种高纯低氧回收溅射靶材的熔炼方法

　　58、一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置

　　59、一种钼平面溅射靶材的制备方法

　　60、一种实时间接测量溅射靶材温度装置

　　61、溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法

　　62、溅射靶材及其使用方法

　　63、背板、使用其的溅射靶材及其使用方法

　　64、一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法

　　65、一种提高磁控溅射靶材利用率的装置及方法

　　66、一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法

　　67、一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置

　　68、一种靶材位置可调整的溅射靶材基座

　　69、一种具有溅射靶材预热功能的靶材基座

　　70、一种高致密度钼钽合金溅射靶材的制备工艺

　　71、一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法

　　72、一种溅射靶材基座

　　73、一种高纯铝管溅射靶材的制备方法

　　74、一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法

　　75、一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具

　　76、一种溅射靶材加热平台

　　77、一种平板显示溅射靶材

　　78、溅射靶材及其制造方法

　　79、一种溅射靶材及其制备方法和装置

　　80、一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺

　　81、一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法

　　82、铝合金溅射靶材

　　83、溅射靶材的绑定材料及绑定方法

　　84、磁控溅射靶材和磁控溅射装置

　　85、一种实时间接测量溅射靶材温度装置

　　86、一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统

　　87、溅射靶材的制造方法及半导体装置的制造方法

　　88、配线结构和其制造方法、溅射靶材以及抗氧化方法

　　89、一种AlCr+α-Al2O3溅射靶材及制备与应用

　　90、一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置

　　91、一种高纯钼溅射靶材的制备方法

　　92、一种用于制备高导电率薄膜的铜基合金及溅射靶材

　　93、一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法

　　94、一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源

　　95、一种钽溅射靶材、制备方法和磁控溅射方法

　　96、Mn-Zn-W-O系溅射靶材及其制备方法

　　97、用于制造吸光层的溅射靶材

　　98、一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法

　　99、一种化学气相沉积高纯钽溅射靶材制作方法

　　100、一种化学气相沉积高纯钨溅射靶材制作方法

　　101、一种大尺寸平板显示器用溅射靶材的生产方法

　　102、溅射靶材及该溅射靶材的制造方法

　　103、一种硒砷锗多元合金溅射靶材的制备方法

　　104、一种提高钼及其合金溅射靶材晶粒均匀性的方法

　　105、铝合金溅射靶材

　　106、一种溅射靶材的清洁方法及装置

　　107、平板显示器用钼合金溅射靶材的制备方法及靶材

　　108、一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法

　　109、一种磁控溅射靶材用水路背板

　　110、铜镓合金溅射靶材的制备方法及靶材

　　111、一种组合式磁控溅射靶材

　　112、一种磁控溅射靶材的固定结构

　　113、从钌溅射靶材基底移除铬污染物的方法

　　114、溅射靶材

　　115、一种磁控溅射靶材用水路背板

　　116、具有背部冷却槽的溅射靶材

　　117、一种富10B碳化硼溅射靶材及其制备方法与应用

　　118、一种用于半导体溅射靶材的高纯钛锭开坯锻造方法

　　119、溅射靶材和其制造方法以及溅射靶

　　120、一种高纯钌溅射靶材的制备方法

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　　399、银合金、其溅射靶材料及其薄膜

　　400、一种多元素溅射靶材结构

　　401、光记录介质的反射层形成用银合金溅射靶材

　　402、用于改进的磁性层的溅射靶材料

　　403、半反射膜或反射膜，光学信息记录介质和溅射靶材

　　404、氧化物烧结体、溅射靶材、透明导电性薄膜及其制造方法

　　405、溅射靶材料及其生产方法

　　406、具有改进表面结构的溅射靶材

　　407、金属电阻材料、溅射靶材、电阻薄膜及其制造方法

　　408、溅射靶材和透明导电薄膜

　　409、溅射靶材

　　410、溅射靶材

　　411、制备溅射靶材料的方法

　　412、含混合稀土元素高阻溅射靶材

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